Benemérita Universidad Autónoma de Puebla. Facultad De Ciencias De La Electrónica.

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Benemérita Universidad Autónoma de Puebla.
Facultad De Ciencias De La Electrónica.
Estudio de sensor de gas basado en silicio poroso tipo-n y tipo-p, expuesto a etanol y
acetona.
Para obtener el grado de:
Lic. En Ciencias De La Electrónica.
Presenta:
Ramírez González, Francisco Sebastián.
Asesor:
García Salgado, Godofredo; Rosendo Andrés, Enrique.
Puebla Pué. Julio de 2011.
Índice general
1. Gases y sensores 7
1.1. Gases y Vapores . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.1.1. Leyes de los gases . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.1.2. Los gases y sus efectos . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
1.1.2.1. Gases irritantes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.1.2.2. Gases asxiantes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
1.1.2.3. Gases anestésicos . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
1.2. Los Sensores . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
1.2.1. Características de los sensores . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
1.2.1.1. Características estáticas . . . . . . . . . . . . . . . . 17
1.2.1.2. Características dinámicas . . . . . . . . . . . . . . . 18
1.2.1.3. Criterios de clasicación de los sensores . . . . . . . 19
1.2.2. Sensores de gas . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
1.2.2.1. Sensores de gases electroquímicos . . . . . . . . . . . 20
1.2.2.2. Sensores de gases de estado sólido . . . . . . . . . . . 21
1.2.2.3. Sensores de efecto piezoeléctrico . . . . . . . . . . . 23
1.2.2.4. Sensores ópticos . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
Referencias 26
2. Silicio Poroso 29
2.1. Fabricación del Silicio Poroso . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
2.1.1. Celda de anodizado . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
2.1.2. Electrolito . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
2.1.3. Potencial y tiempo de anodizado . . . . . . . . . . . . . . . . 32
2.1.4. Efecto por iluminación . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
2.1.5. Otros parámetros en la obtención de silicio poroso . . . . . . . 34
2.2. Porosidad . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
2.2.1. Morfología de los poros . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
2.2.1.1. Tipo de poros . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
2.2.1.2. Forma de poros . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
2.2.1.3. Tamaño de poros . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
2.2.1.4. Área específica . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
2.2.2. Formación de los poros . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
2.2.2.1. Disolución química . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
2.2.2.2. Determinación de la porosidad y el espesor de la capa
porosa . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
2.2.3. Variación de la porosidad y espesor en función de las condiciones
de anodizado . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
2.3. Aplicaciones del SP . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
2.3.1. Aplicaciones en sensores . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
Referencias 50
3. Desarrollo experimental 55
3.1. Obtención de las muestras . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55
3.1.1. Ataque electroquímico . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56
3.1.2. Porosidad y espesor de la capa porosa . . . . . . . . . . . . . 58
3.2. Contactos eléctricos . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
3.2.1. Elaboración de mascarillas . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
3.2.2. Evaporación de los contactos eléctricos . . . . . . . . . . . . . 64
3.3. Caracterización de los dispositivos . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65
3.3.1. Elementos del sensado . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
3.3.2. Características del sensado . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67
3.4. Oxidación por depósito químico en fase vapor . . . . . . . . . . . . . 69
Referencias 70
4. Resultados y conclusiones 72
4.1. Mediciones . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73
4.2. Resultados del sensado . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74
4.3. Conclusiones . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 84
4.4. Trabajo a futuro . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
Referencias 86
A. Procesos 88
A.1. Proceso de limpieza . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 88
A.2. Proceso para obtener NaOH . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 89
La exposición a vapores orgánicos y solventes tiene serias consecuencias para la
vida, pues afecta a los seres vivos y al medioambiente. Las afectaciones dependen
de la sustancia y el tiempo de exposición. Los disolventes orgánicos, por ejemplo,
están formados por uno o más compuestos altamente volátiles en su estado líquido.
Estos disolventes se emplean principalmente para disolver sustancias poco polares,
insolubles en disolventes acuosos, como pinturas, barnices, lacas, resinas, pegamentos,
colas y adhesivos, polímeros, pesticidas, tintas de impresión, etc., así como en
procesos de limpieza y extracción con disolventes, suelen usarse como materia prima
en la industria de síntesis orgánica. Por estas razones, resulta de interés disponer de
un método ensayado y validado para la determinación de vapores orgánicos en el
aire, con el de poder evaluar la exposición a estos compuestos.
Existen diversos dispositivos capaces de sensar vapores orgánicos, la reacción que
presentan se traduce en cambios mesurables de ciertas propiedades, según el diseño
y el material de construcción, como cambios de capacitancia, resistencia, temperatura,
desviación de capos eléctricos o magnéticos, entre otros. Al inicio del presente
capítulo se presentan algunas propiedades de los gases y su clasificación por el riesgo
que representan, finalmente se concluye con la presentación de algunos sensores de
gases, describiendo brevemente su funcionamiento.
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