Fundamentos de Caracterización de Materiales Microscopía Electrónica de Barrido (SEM) MICROSCOPÍA ELECTRÓNICA DE BARRIDO 1. Poder de resolución Resolución ⇒ es el espaciado más pequeño entre dos puntos que se pueden ver claramente como entidades separadas Poder de resolución = r = d 1 0,61·λ = 2 n·senα Figura tomada de: -ALBELLA, J.M.; CINTAS, A.M.; MIRANDA, T. y SERRATOSA, J.M.: "Introducción a la ciencia de materiales". C.S.I.C., 1993. Fco. Javier González Benito Fundamentos de Caracterización de Materiales Microscopía Electrónica de Barrido (SEM) 2. Profundidad de campo Es el rango de posiciones del objeto en las cuales el ojo no distingue una falta de nitidez en la imagen h= 0,61·λ n·senα ·tan gα Figura tomada de: -ALBELLA, J.M.; CINTAS, A.M.; MIRANDA, T. y SERRATOSA, J.M.: "Introducción a la ciencia de materiales". C.S.I.C., 1993. Nota: si α ↓ ⇒ h y r ↑ Fco. Javier González Benito Fundamentos de Caracterización de Materiales Microscopía Electrónica de Barrido (SEM) 3. Comparación entre microscopios ópticos y microscopios electrónicos - Luz visible ⇒ λ = 400 – 700 nm - Electrones λ asociada (dualidad onda⇒ corpúsculo) = 0.001 – 0.01 nm ⇒ mayor resolución - En M. Electrónicos necesidad de hacer vacío (10-7 bar) Figura tomada de: -ALBELLA, J.M.; CINTAS, A.M.; MIRANDA, T. y SERRATOSA, J.M.: "Introducción a la ciencia de materiales". C.S.I.C., 1993. Fco. Javier González Benito Fundamentos de Caracterización de Materiales Microscopía Electrónica de Barrido (SEM) 4. Interacción de los haces de electrones con la materia 4.1.- Interacciones elásticas Afectan a las trayectorias de los electrones sin que se alteren sus energías ⇒ electrones retrodispersados 4.2.- Interacciones inelásticas Resultan de transferir al sólido parte o toda la energía de los electrones 4.2.1.- Electrones secundarios Electrones procedentes de los átomos que forman la muestra a analizar 4.2.2.- Emisión de rayos X a)Origen del espectro característico de rayos X b)Espectro característico de rayos X emitido por los elementos Fco. Javier González Benito Fundamentos de Caracterización de Materiales Microscopía Electrónica de Barrido (SEM) (Emisión de R-X) (e- Secundarios) (I. Elástica) Figura tomada de: -ALBELLA, J.M.; CINTAS, A.M.; MIRANDA, T. y SERRATOSA, J.M.: "Introducción a la ciencia de materiales". C.S.I.C., 1993. Fco. Javier González Benito Fundamentos de Caracterización de Materiales Microscopía Electrónica de Barrido (SEM) 5. Espectros Característicos de Rayos X Figura tomada de: -ALBELLA, J.M.; CINTAS, A.M.; MIRANDA, T. y SERRATOSA, J.M.: "Introducción a la ciencia de materiales". C.S.I.C., 1993. Fco. Javier González Benito Fundamentos de Caracterización de Materiales Microscopía Electrónica de Barrido (SEM) 6. Microscopía electrónica de barrido 6.1.- Introducción Los electrones al tener poco poder de penetración se pueden utilizar para estudiar superficies 6.2.- Fundamento La intensidad de emisión de los electrones secundarios y retrodispersados depende del ángulo de incidencia del haz de electrones primarios sobre la superficie de la muestra (topografía) Imagen tomada del enlace: http://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/1/19/SimpleSEMa ndTEM.jpg/350px-SimpleSEMandTEM.jpg Fco. Javier González Benito Fundamentos de Caracterización de Materiales Microscopía Electrónica de Barrido (SEM) 6.3.- Microscopio electrónico de barrido a) Fuentes de electrones (Filamento caliente de W) Figura tomada de: D.A. Skoog et al. Principios de Análisis Instrumental. Mc Graw Hill, Madrid (2002) Fco. Javier González Benito Fundamentos de Caracterización de Materiales Microscopía Electrónica de Barrido (SEM) a) Óptica para magnéticas) los electrones (lentes - Lentes condensadoras: hace llegar el haz de electrones a las lentes de enfoque - Lentes de enfoque: responsables del tamaño del haz sobre la muestra b) Barrido: Aumento, A =W/w c) Muestra y soporte de la muestra - Deben encontrarse en una cámara de ultra alto vacío - Deben ser conductoras. Si no, hay que recubrirlas (Métodos de recubrimiento, “Sputtering”) d) Detectores: - De electrones semiconductor) (de centelleo y de - De rayos X (de dispersión de energía y de longitud de onda Imagen tomada del enlace: http://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/1/19/SimpleSEMa ndTEM.jpg/350px-SimpleSEMandTEM.jpg Fco. Javier González Benito Fundamentos de Caracterización de Materiales Microscopía Electrónica de Barrido (SEM) 6.4.- Aplicaciones Proporciona información morfológica, topográfica y composicional de las superficies de los materiales a) Electrones retrodispersados: son direccionales, sólo revelan detalles de la muestra que estén en línea con el sistema de detección. Su número aumenta cuando Z aumenta, entonces se puede obtener contraste debido a composición de la muestra. Fco. Javier González Benito Fundamentos de Caracterización de Materiales Microscopía Electrónica de Barrido (SEM) b) Electrones secundarios: No son direccionales, aprecian detalles que forman una imagen de apariencia tridimensional (topografía) c) Emisión de rayos X: Microanálisis, cuali y cuantitativo Fco. Javier González Benito Fundamentos de Caracterización de Materiales Microscopía Electrónica de Barrido (SEM) HORMIGONES Y ARIDOS -Mineralogía de cementos: clínker, alitas, etc... -Mineralogía de áridos: granito, calizas, etc... -Crecimientos cristalinos, texturas, fisuraciones, porosidades, fragilidad, etc... -Fases reactivas, productos expansivos. -Interferencia árido pasta, índice de huecos, etc... -Composición microquímica, alteraciones, etc... -Cuantificación de parámetros de caracterización METALES Y ORGANICOS -Análisis morfológico y fractográfico. -Análisis de inclusiones. -Corrosión de superficies y oxidaciones. -Estudio, análisis y evaluación de fases. -Cartografía de elementos químicos. -Ataques superficiales por alteración. -Espesores y distribución de capas. Fco. Javier González Benito Fundamentos de Caracterización de Materiales Microscopía Electrónica de Barrido (SEM) 6.4.1.- Análisis de sistemas poliméricos a) compatibilidad de polímeros Fco. Javier González Benito Fundamentos de Caracterización de Materiales Microscopía Electrónica de Barrido (SEM) 6.4.2.- Superficies a) Modificación superficial en materiales Acc. V Spot Magn 10.0 kV 5.5 2500x Det SE WD 10.0 10 µm Fco. Javier González Benito Fundamentos de Caracterización de Materiales Microscopía Electrónica de Barrido (SEM) a) Modificación superficial en materiales Acc. V Spot Magn 10.0 kV 5.5 2000x Det SE 10 µm WD 9.9 Fco. Javier González Benito Fundamentos de Caracterización de Materiales Microscopía Electrónica de Barrido (SEM) 6.4.3.- Microanálisis E (eV) Fco. Javier González Benito Fundamentos de Caracterización de Materiales Microscopía Electrónica de Barrido (SEM) Relaciones atómicas entre Si y los principales elementos constituyentes de las fibras de vidrio. Muestra Si/Al Si/Ca Si/Na F-A 3.6±0.2 3.1±0.2 27±7 F-B 3.7±0.5 3.1±0.6 32±7 F-C 5.2±0.6 5.1±0.7 39±9 F-D 8.3±0.6 11±3 60±13 A1W 3.7±0.4 3.0±0.3 36±8 B1W 3.8±1.1 2.5±1.2 - C1W 5.7±0.8 6.1±1 56±17 D1W 12±3 17±7 - Fco. Javier González Benito Fundamentos de Caracterización de Materiales Microscopía Electrónica de Barrido (SEM) 6.4.4.- Estudios fractográficos Fco. Javier González Benito Fundamentos de Caracterización de Materiales Microscopía Electrónica de Barrido (SEM) (b) 0,8 PMMA-C Particle density (µ m-2 ) 0,7 PMMA-S PMMA-A 0,6 PMMA 0,5 0,4 0,3 0,2 0,1 0 0 5 10 15 20 Distance from the surface of the fiber to the bulk (µ µm) Fco. Javier González Benito Fundamentos de Caracterización de Materiales Microscopía Electrónica de Barrido (SEM) Fco. Javier González Benito Fundamentos de Caracterización de Materiales Microscopía Electrónica de Barrido (SEM) Fco. Javier González Benito Fundamentos de Caracterización de Materiales Microscopía Electrónica de Barrido (SEM) Fco. Javier González Benito Fundamentos de Caracterización de Materiales Microscopía Electrónica de Barrido (SEM) Fco. Javier González Benito Fundamentos de Caracterización de Materiales Microscopía Electrónica de Barrido (SEM) Fco. Javier González Benito Fundamentos de Caracterización de Materiales Microscopía Electrónica de Barrido (SEM) E (eV) Fco. Javier González Benito Fundamentos de Caracterización de Materiales Microscopía Electrónica de Barrido (SEM) Fco. Javier González Benito