Técnicas T écnicas Interferométricas de baja coherencia láser Física de láseres Daniel Sánchez Lucero Objetivos de la técnica M di ió de Medición d distancias! di t i ! Uno de los conceptos que se usan en la t topografía fí para describir d ibi las l irregularidades i l id d de d las superficies es el de RUGOSIDAD. En ciertos casos una alta rugosidad es necesaria y en otros casos es indeseable. Perfilómetro de barrido y x Fuentes de radiación Fuentes de d baja b coherencia coherencia. h . Láser de p pulsos cortos Fuentes de luz blanca Diodo superluminiscente Interferometía de baja j coherencia Michelson setset-up p I Interferometría f í utilizando ili d ell efecto f Fh FhotoFhoto EMF Longitud de coherencia L longitud La l it d de d coherencia h i de d la l fuente f t de d luz se define como la diferencia de camino óptico entre los brazos del interferómetro para la cual la función del contraste ha d íd a un valor decaído l de d 1/e / de d su valor l máximo.. máximo m Y =e Y = e −1 −h2 x2 0 DCO Interferometría de baja coherencia Espejo de referencia 1 Detección de la señal de interferencia 2 1+2 D Dif de fase=φ(x,y) Fuente de luz de baja coherencia nD Interferómetro Michelson Sistema de detección Muestra •Medición del espectro de la fuente de luz • Resolución y rango dinámico definido por las características de la fuente de luz y el sistema de detección Efecto Photo Photo-EMF EMF d LX z JΩ R y I(x) ( ) x I0 UΩ θ Ω x RL Modulador Electro-óptico σ(x) S La señal en un fotodetector adaptivo basado en el efecto foto-EMF es el resultado de una interacción del campo eléctrico de carga espacial p ESC((r,, t)) y el ppatrón de fotoconductividad σ(r, t) que siguen los desplazamientos de un patrón de luz I(r, t). σ0 x ESC(x) x 0 i(Ω/ Ω0 ) 1 m2Δ j = σ0ED 2 1+ K2L2D 1+ (Ω/ Ω0 ) Ω 10 Comportamiento típico de la señal del Photo-EMF i (Ω / Ω 0 ) m2Δ 1 j = σ 0 ED 2 1 + K 2 L2D 1 + (Ω / Ω 0 ) Ω Por lo tanto es posible medir el Grado de coherencia de los haces de luz que interfieren, midiendo simplemente jΩ Se eñal de foto o-FEM (u.a.)) 10 1 0.1 0.01 0 01 0.01 0.1 1 10 Ω τSC 11 100 ARREGLO EXPERIMENTAL Concluciones Para realizar perfilometria óptica de baja coherencia es necesario utilizar diodos superluminicentes,, laseres de pulsos cortos, luz superluminicentes blanca. blanca Los cuales pueden ser empleados en arreglos interferometricos que sean capases de medir diferencia de distancias.