Microelectrónica

Introducción
Con la invención de un amplificador de Estado Sólido en 1947, por Shockley, Bardeen, and Brattain, la
posibilidad del aumento en la integración en el mismo cristal es una realidad. En las últimas décadas, y hoy en
día se aumenta el numero de componentes que se introducen en el mismo cristal. Esta industria es altamente
rentable, pero las inversiones en desarrollo son también muy altas, lo que hace que las inversiones sean a la
largo plazo. Lo que hace que la industria microelectrónica sea rentable es que su procesos de fabricación
(Batch Processing), funcione correctamente. Esto hace que en cada chip sea de 8mm de lado, que hace que en
cada oblea tengamos de 120−130 circuitos. Cada oblea es tratada de forma que todos los circuitos se hacen a
la vez, pasando por el mismo proceso en el mismo instante. Aunque hay procesos como el encapsulado y el
testéo, que se deben hacer individualmente.
−¿Qué semiconductores son aptos para hacer dispositivos electrónicos ?
Los elementos del tipo IV (Columna del Silicio), son los más indicados para utilizarlos como
semiconductores. Aunque para que funcionen como tal deben de tener un gap comprendido, entre 0.5 y 1 eV
aproximadamente. Aunque como bien se sabe ya el Gap de un semiconductor se puede variar añadiendo
impurezas a este.
Pero no solo los elementos de la columna IV, son candidatos a buenos semiconductores, sino la combinación
de los elementos de las columnas de al lado la III y la V, también lo son. P.e. GaAs
Ga| Ge | As
También otros dos elementos que se combinan como buenos semiconductores, es el GaP. Los elementos del
grupo IV−VI, también se combinan formando semiconductores de Gap muy pequeños, pero de enorme
importancia en el ambito militar, y en la detección de infrarrojos.
P.e. PbSe (Galena)
De todas maneras, son pocos los elementos, los cuales los podemos hacer crecer como cristales.
Ahora vamos a hacer una breve historia de los dispositivos electrónicos :
1904− Primer detector de Ondas de Radio (Unión metal−PbSe)
1940−1945 Se desarrollan en Alemania. Detectores de radiación (Térmica)
Aplicación en la detección de aviones.
1547 Transistor Bipolar (Germanio)
1959 Circuitos Integrados
1961 Tecnología planar desarrollada por Fairchild Semiconductor
1963 MOSFET− Aunque la idea era anterior, por problemas tecnológicos no se pudo desarrollar ( Creación de
el óxido semiconductor)
−Conceptos Industriales de Producción de CI
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·Custom : El fabricante lo hace todo hasta la última máscara, y los transistores con su colocación y conexión.
·ASIC : Circuitos muy específicos que el fabricante no hace, por no tener asegurado un mercado (Es una
relación entre cliente y fabricante, mucho más directa y las inversiones empresariales son mucho menores).
·Tamaño mínimo 0.4 m, esto viene dado porque la longitud de onda de la luz utilizada para las máscaras oscila
entre 0.3 y 0.7 ðm. y se producen fenómenos de difracción óptica, proceso que impide la buena realización
fotolitográfica.
−Los procesos de introducción de dopantes ha pasado por 4 tipos de fabricación básicamente:
·Aleación:
El dopante que queremos introducir se pone en contacto con el semiconductor, a los cuales se le pone a una
temperatura alta para poderse producir la aleación.
El dispositivo ocupa un 1% del espesor total de la oblea, por tanto hay un 99% que no se aprovecha, esta zona
"muerta" además da problemas de funcionamiento del dispositivo.
.−Problemas:
*No se controla la introducción de dopantes
*Se tiene que reducir la zona muerta.
·Difusión:
La física del proceso es la misma, que en el caso anterior, pero tenemos un control mucho mayor sobre él. En
este caso el dopante está en forma gaseosa, para introducirlo en las zonas que queremos dopar.
.−Problemas:
*Interconexiones entre los dispositivos.
*Sigue existiendo zonas muertas.
*El control debería ser mayor sobre las zonas a
dopar.
·Difusión Planar−Epitaxial:
Partimos de un cristal fuertemente dopado, al cual se le hace crecer una capa epitaxial, de semiconductor con
un dopado menor. Posteriormente se oxida el Si, de forma que obtenemos SiO2. Se abren huecos en el óxido
para que las impurezas entren donde nosotros queremos:
El dopante se introduce en todas las direcciones de forma que no es igual el area de la superficie a la
proyectada. Con este proceso hemos resuelto el problema de la zona muerta.
.−Problemas:
*Difusión lateral
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*Si las dimensiones se reducen la difusión lateral puede hacer que tengamos una unión en los dispositivos.
·Implantación Iónica:
El proceso es totalmente análogo al anterior pero cambiamos la tecnología utilizada en la introducción de los
dopantes. Las impurezas se aceleran utilizando potenciales de 100000 V. Pudiendo controlar perfectamente
variando la energía de los iones los lugares donde queremos introducirlos.
• Crecimiento de Cristales
El primer problema que tenemos es conseguir Si con un alto grado de pureza, para poder fabricar Si cristalino.
La densidad efectiva de átomos debe ser 1023, para el purificado se hace reaccionar con clorhídrico en fase
vapor, y después de varias reacciones (Destilación fraccionaria), obtenemos lo que se llama Si electrónico.
Una vez conseguido esto ya podemos darle una estructura cristalina.
Método Czochralski :
· En una atmósfera controlada e inerte, tenemos una cubeta de grafito o cuarzo (que funden a temperaturas
3000 ºC En la cubeta se introduce Si electrónico . El cilindro está rodeado de una bobina de alta frecuencia y
alta corriente, con esto se funde el Si (1240 ºC). Se introduce en el Si fundido una pértiga con una semilla de
Si cristalino, el cual por capilaridad se une a la semilla, formándose Si cristalino alrededor de la semilla, de
forma que tirando y girando la pértiga hacemos crecer el cristal. (5 a 6 pulgadas de diámetro).
Este método así realizado tiene un problema y es que las paredes de cuarzo o de grafito, introducen impurezas
en el Si cristalino que se forma, porque al estar toda la cubeta a una temperatura alta se producen deterioros en
esta. Para evitar esto se va utilizar el método de la zona flotante, en el cual la bobina no está en todo el cristal
sino únicamente en una zona muy concreta alrededor de la semilla, esta bobina es móvil y según movemos la
semilla la bobina la acompaña. El problema que tenemos ahora es que hay un alto número de dislocaciones
debido al gradiente térmico.
El lingote de Si cristalino se corta en obleas, perdiéndose en el proceso la mitad del Si. Luego viene un
proceso de redondeado y de pulido.
Procesos de Dopado
Difusión :
La introducción de dopantes en Si como se produce a partir de una fase gaseosa, lo cual hace que la ley que
rige el proceso sea la siguiente :
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